气体质量流量计是一种用于精确测量气体质量流量的仪器，它基于热式、振荡式或压降式等测量原理，通过检测气体流动引起的物理量变化（如热传递、振动频率或压力差）来计算质量流量。其原理以热式气体质量流量计为例，其传感元件包含两个热电阻（铂RTD），一个作为速度传感器被加热至恒定温度，另一个用于补偿气体温度变化。当气体流过速度传感器时，会带走热量导致其温度下降，系统通过增加加热电流维持温度恒定，电流变化量与气体流速成正比，从而计算出质量流量。
1、直接测量质量流量：
最核心特点：直接输出标准状态下的质量流量（如SLPM-标准升/分钟、SCCM-标准立方厘米/分钟、kg/h等）。
优势：测量结果不受工况下温度、压力波动的影响，无需额外进行温压补偿，简化系统设计，提高测量精度。
2、高精度与高重复性：
现代气体质量流量计（尤其是热式）精度可达±(0.5%读数+0.1%满量程)或更高。
重复性好（通常<±0.2%），适合需要高一致性的精密控制场合。
3、宽量程比（Turndown Ratio）：
量程比可达100:1甚至1000:1，意味着一台仪表可以在很宽的流量范围内保持高精度测量，无需多台仪表切换。
4、响应速度快：
尤其是热式质量流量计，响应时间可短至毫秒级（如<1秒），能快速跟踪流量的瞬时变化，适用于动态过程控制。
5、无活动部件，可靠性高：
大多数气体质量流量计（如热式、科里奥利式）采用无机械运动部件的设计。
优势：磨损小、寿命长、维护需求低、不易堵塞。
